简单来讲工具显微镜的光学原理较之金相显微镜是差不多的,和反射式光学显微镜的原理是相同都用来观察不透明的物件,他们之间较大的区别就是工具显微镜较金相显微镜的放大倍率要小一些。
工具显微镜会附加有电子数位显示器,像是RT和映像管还有CDC摄影机以及电脑等等来完成它测量的功能,会搭配一个测量软件系统可将物像放大并配合多种测量手段来满足客户的对工件测量的要求。